제품정보
제품정보
연구원에서 연구 개발된 제품은 시험장비(Demo) 제조를 통해 면밀하게 분석하여 고객의 니즈에 부합하는 최적의 장비가 되도록 노력하고 있습니다.
N2 Stocker - 반도체 제조공정에 사용되는 FOUP의 보관 및 이송을 담당하는 장비 - FOUP 보관 중 N2 Gas를 FOUP 내부로 충진하여 산소의 농도를 조절
OHT(Over-head Hoist Transport) - 반도체 제조공정의 대표적인 AMHS(Automated Material Handling System) → 공정장비와 Stocker 등으로 자재를 자동 이/적재
OHCV(Over Head Conveyor) - 효율적인 공간 활용을 위해 Fab 천정에 설치하여 Tray를 반송하는 물류장치 - 상부에 설치되는 Conveyor 와 Diverter, 하부로 Loading/Unloading 하는 Lifter로 구성
AGV(Automated Guided Vehicle) - 공정장비와 Stocker, Buffer 간 자재를 자동 이송하는 무인 이송장비 - TDBI 공정에서 Sorter, Tester, Rack Stocker 및 Buffer 간 BIB Rack을 자동 이/적재
SSD(Solid State Drive) Tester - PCLe&STAT Ⅲ 256 Paras (Semi Auto)
Mobile DRAM 실장 Tester - HS-MDP-1280
반도체용 Film 개발 - Die Attach Film (DAF) - Wafer Back Grinding Tape - Wafer Dicing Tape
EDAV (Exhaust Damper Auto Valve) - 효율적인 공간 활용을 위해 Fab 천정에 설치하여 Tray를 반송하는 물류장치 - 상부에 설치되는 Conveyor 와 Diverter, 하부로 Loading/Unloading 하는 Lifter로 구성
FOUP CLEANER&FOUP PARTICLE 복합 세정 장비 - 반도체 제조용 300mm Wafer를 담는 용기를 세정하는 장비 - FOUP(Front Open Unified Pod) 세정 완료된 FOUP을 Particle 측정 후 합격한 제품을 생산 투입하는 복합장비
O-RING - O-Ring은 단면이 O 모양의 장비 부품에 유체 (액체 · 기체 · 플라즈마)를 밀봉하기 위하여 사용되는 부품 - 액정이나 반도체 제조 장치 등 모든 산업에 필수적으로 적용되는 부품 - 가스(Gas), 약품(Chemical), 물(Water)로부터 Leak를 방지
태양광 발전(에너지) - 태양에너지가 광전효과에 의해 전기를 발생하는 태양전지(PV)를 이용한 발전방식 - 구 성 : 태양전지(Solar cell)로 구성된 모듈(Module), 축전지, 전력변환장치